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產(chǎn)品名稱

單晶堿拋光清洗機(jī)

型號

KSSDE

適用工藝路線

TOPCON、HJT、XBC等

功能簡介

對硅片表面進(jìn)行拋光處理

工藝流程

預(yù)清洗→拋光→后清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干

適用硅片尺寸

182x182mm、可兼容 18X-230 硅片多種尺寸

花籃數(shù)量

4、6籃

產(chǎn)能

182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時

碎片率

硅片厚度≥130um，碎片率<0.01%

功率/電壓

310KW/380V 50Hz3 相5線制

設(shè)備特點(diǎn)

支持MES、RFD及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實(shí)現(xiàn)簡單快速換液；工藝根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑，拋光效果好